发明名称 フォトマスク用、レチクル用又はナノインプリント用のガラス基板及びその製造方法
摘要 <p>An electronic grade glass substrate is provided with a recess, channel or step in one surface, and a first chamfer between the side surface of the recess, channel or step and the one surface. The side and bottom surfaces of the recess, channel or step are mirror finished, and the first chamfer is mirror finished.</p>
申请公布号 JP5776491(B2) 申请公布日期 2015.09.09
申请号 JP20110232522 申请日期 2011.10.24
申请人 发明人
分类号 G03F1/60;C03C19/00;H01L21/027 主分类号 G03F1/60
代理机构 代理人
主权项
地址