| 发明名称 | 晶圆环及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种晶圆环，所述晶圆环的材料由质量百分比为60％～81％的聚碳酸酯、18.5％～38.5％的碳纤维以及0.5％～1.5％的助剂构成；本发明还涉及一种晶圆环的制造方法，包括以下步骤：将包含聚碳酸酯、碳纤维以及助剂的原料搅拌均匀；去除原料本身的水分；熔化去除水分后的原料；及将熔化后的原料注入模具中成型。上述晶圆环的制造方法制造的晶圆环属于塑料制品，成本较传统不锈钢材质晶圆环低，同时重量较传统不锈钢材质晶圆环轻，进行异地运输时极大程度节省了运输成本。 | ||
| 申请公布号 | CN103374215B | 申请公布日期 | 2015.09.09 |
| 申请号 | CN201210123835.7 | 申请日期 | 2012.04.25 |
| 申请人 | 深圳欧菲光科技股份有限公司 | 发明人 | 简海亮;刘涛 |
| 分类号 | C08L69/00(2006.01)I;C08K13/04(2006.01)I;C08K7/06(2006.01)I;B29C39/02(2006.01)I;B29C41/08(2006.01)I | 主分类号 | C08L69/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 邓云鹏 |
| 主权项 | 一种晶圆环，其特征在于，所述晶圆环的材料由质量百分比为70％的聚碳酸酯、29％的碳纤维以及1％的助剂构成。 | ||
| 地址 | 518106 广东省深圳市宝安区公明镇松白公路华发路段欧菲光科技园 | ||