包括多自由度转动样品台的测量杆

摘要

公开了一种包括多自由度转动样品台的测量杆，该测量杆包括：同轴驱动装置，所述同轴驱动装置包括第一驱动轴、第二驱动轴、用于驱动第一驱动轴的第一马达以及用于驱动第二驱动轴的第二马达，所述第一马达连接第一驱动轴的第一端，所述第二马达连接第二驱动轴的第一端，所述第二驱动轴包括第一中心孔，所述第一驱动轴位于第一中心孔内；支架，所述支架包括底板和至少一个侧板，所述底板同侧板垂直；设置于所述底板上的第一齿轮；设置于所述第一齿轮上的样品台，其中，所述第一驱动轴和第二驱动轴之一产生所述支架的转动，所述第一驱动轴和第二驱动轴中的另一个产生所述第一齿轮的转动，使得所述样品台在多个自由度转动。

主权项

一种包括多自由度转动样品台的测量杆，包括：同轴驱动装置，所述同轴驱动装置包括第一驱动轴、第二驱动轴、用于驱动第一驱动轴的第一马达以及用于驱动第二驱动轴的第二马达，所述第一马达连接第一驱动轴的第一端，所述第二马达连接第二驱动轴的第一端，所述第二驱动轴包括第一中心孔，所述第一驱动轴位于第一中心孔内；支架，所述支架包括底板和至少一个侧板，所述底板同侧板垂直；设置于所述底板上的第一齿轮；设置于所述第一齿轮上的样品台，其中，所述第一驱动轴和第二驱动轴之一产生所述支架的转动，所述第一驱动轴和第二驱动轴中的另一个产生所述第一齿轮的转动，使得所述样品台在多个自由度转动。