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<p>스테이지 장치는, 웨이퍼 스테이지 (WST) 가 대향하는 면 상에, Y 축 방향을 길이 방향으로 하여 배치되고, X 축 방향을 주기 방향으로 하는 제 1 격자가 형성된 제 1 스케일 (46B, 46D) 과, X 축 방향을 길이 방향으로 하여 배치되고, 제 1 격자와 주기 방향이 직교하는 제 2 격자가 형성된 제 2 스케일 (46A, 46C) 을 구비하고 있다. 또한, 스테이지의 상면에는, X 축 방향의 위치를 상이하게 하여 배치된 복수의 X 헤드 (66∼ 66) 와, Y 축 방향의 위치를 상이하게 하여 배치된 복수의 Y 헤드 (64∼ 64) 가 형성되어 있다. 이들 헤드를 갖는 인코더 시스템은, 제 1 스케일에 대향하는 X 헤드의 출력과, 제 2 스케일에 대향하는 Y 헤드의 출력에 기초하여 스테이지의 XY 평면 내의 위치 정보를 계측한다.</p> |
