Mikro-Elektro-Mechanisches System und Verfahren zum Herstellen desselben

摘要

Ein Mikro-Elektro-Mechanisches System weist eine auslenkbare Aktuatorplatte und eine Anschlagsfläche auf. Eine einstückige piezoelektrische Funktionsschicht der auslenkbaren Aktuatorplatte ist über eine Fläche APS der Aktuatorplatte ausgebildet. Die auslenkbare Aktuatorplatte ist ausgebildet, um in zumindest einem angesteuerten oder nicht angesteuerten Zustand eine Hohlwölbung auszuführen, wobei die Anschlagsfläche einer durch die Hohlwölbung definierten Hohlseite der auslenkbaren Aktuatorplatte zugewandt angeordnet ist. Die auslenkbare Aktuatorplatte ist ausgebildet, um in dem Zustand, in welchem sie die Hohlwölbung ausführt, einen mechanischen Kontakt zwischen der auslenkbaren Aktuatorplatte und der Anschlagsfläche bereitzustellen. In dem anderen Zustand ist die auslenkbare Aktuatorplatte beabstandet zu der Anschlagsfläche angeordnet.