| 摘要 |
本発明は、基板（５）上に設けられているか又は存在している構造体（６）の位置合わせ誤差を求めるための装置に関する。装置は、基板ホルダ（２）と、検出手段とを備えており、基板ホルダ（２）は、構造体（６）を備えている基板（５）を収容し、検出手段は、基板（５）又は検出手段の第１の座標系における移動によって、基板（５）上の第１のマーキング（７）及び／又は構造体（６）上の第２のマーキング（１１，１１’）のＸ−Ｙポジションを検出する。第１の座標系に依存しない第２の座標系には、構造体（６）に関するＸ’−Ｙ’構造体ポジションが設定されており、第１のマーキング（７）及び／又は第２のマーキング（１１，１１’）のＸ−Ｙポジションからの、第２の座標系の各距離を装置によって求めることができる。 |
