一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法，属于光纤传感器技术领域；所述压力传感器由一根端面带有微孔的光纤(1)和一段端面完整的光纤膜片(2)熔接构成，所述熔接面与微孔构成内嵌的法布里-珀罗微腔；制作方法：用飞秒激光在一根光纤的端面加工出微孔，此光纤与另一根端面完整的光纤熔接构成法珀微腔，切除并研磨一端的光纤长度至几微米，构成光纤薄膜，形成微纳结构的压力传感器。对比现有传感器，由于传感头是微纳尺寸，温度对压力测量的交叉影响小；使用性能相同的石英材料制成，热膨胀系数一致，结构稳定；综合材质及制作过程，本发明压力传感器具有耐高温，微结构，抗电磁干扰，抗污染，高可靠性和高精度的特点。

主权项

一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器，其特征在于：由一根端面带有微孔的光纤(1)和一段端面完整的光纤膜片(2)熔接构成，所述熔接面与微孔构成内嵌的法布里‑珀罗微腔。