| 发明名称 | 一种氮化物单晶生长装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种氮化物单晶生长装置，包括反应釜，该反应釜内填充有溶液，反应釜内底部设有晶种模板，所述反应釜内部设置有完全浸没在溶液中的溶液流向引导装置，反应釜底面和侧壁周围均设有加热器，溶液流向引导装置为中空管体，该中空管体底部固定在反应釜底面，该中空管体侧壁下部设有导通孔。本发明有效地克服了传统液相法生长氮化物单晶过程中的不利因素，如存在N空位、结晶不均匀、生长速度慢等问题，提高结晶材料质量。 | ||
| 申请公布号 | CN104878451A | 申请公布日期 | 2015.09.02 |
| 申请号 | CN201510331552.5 | 申请日期 | 2015.06.16 |
| 申请人 | 北京大学东莞光电研究院 | 发明人 | 巫永鹏;李成明;陈蛟;罗睿宏;李顺峰;张国义 |
| 分类号 | C30B29/38(2006.01)I;C30B29/40(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B29/38(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人 | 罗晓林 |
| 主权项 | 一种氮化物单晶生长装置，包括反应釜，该反应釜内填充有溶液，反应釜内底部设有晶种模板，其特征在于，所述反应釜内部设置有完全浸没在溶液中的引导溶液定向流动的溶液流向引导装置，反应釜底面和侧壁周围均设有加热器。 | ||
| 地址 | 523000 广东省东莞市松山湖创新科技园1号楼418室 | ||