直控超宽光谱在线膜厚监测系统

摘要

本实用新型公开了一种直控超宽光谱在线膜厚监测系统，包括光源、光接收单元、光谱仪、触发发送装置、触发接收装置、控制采集单元和主控制器，所述光源照射在接近工件盘中心的外侧固定的监测基片上，通过光接收单元采集反射或透射的光信号传送至所述光谱仪；所述光源采用紫外光源和可见红外光源通过Y型光纤复合，紫外光源和可见红外光源分别连接Y型光纤的两个输入端，所述光谱仪包括若干个响应不同波长范围的CCD阵列光谱仪。

主权项

直控超宽光谱在线膜厚监测系统，包括光源、光接收单元、光谱仪、触发发送装置、触发接收装置、控制采集单元和主控制器，所述光源照射在接近工件盘中心的外侧固定的监测基片上，通过光接收单元采集反射或透射的光信号传送至所述光谱仪；其特征在于，所述光源采用紫外光源和可见红外光源通过Y型光纤复合，紫外光源和可见红外光源分别连接Y型光纤的两个输入端，所述光谱仪包括若干个响应不同波长范围的CCD阵列光谱仪。