| 发明名称 | 一种可动电感电极结构以及制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种可动电感电极结构以及制备方法，所述可动电感电极结构，包括：上下隔离设置的上极板和下极板，用于形成MEMS中可变电容的两个电极板，其中所述上极板和所述下极板均选用平面螺旋电感，以使所述上极板和所述下极板在通电情况下相互运动。本发明所述电极结构一方面，可以像普通电容一样测两极板的电容算出极板距离的，对于加速度传感器即可换算成加速度。另一方面，还可以测得由于极板靠近引起的磁感应电流，即电容极板距离变化的速度，通过换算测量出运动加速度的变化速度。 | ||
| 申请公布号 | CN104876176A | 申请公布日期 | 2015.09.02 |
| 申请号 | CN201410073069.7 | 申请日期 | 2014.02.28 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 叶菲 |
| 分类号 | B81B7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人 | 董巍;高伟 |
| 主权项 | 一种MEMS可动电感电极结构，包括：上下隔离设置的上极板和下极板，用于形成MEMS中可变电容的两个电极板，其中所述上极板和所述下极板均选用平面螺旋电感，以使所述上极板和所述下极板在通电情况下相互运动。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||