主权项 |
一种非挥发性记忆体(NVM)装置,包含:一第一半导体鳍片,具有一第一端和第二端,且沿着自该第一端到该第二端的第一方向延伸,该第一半导体鳍片包含:一源极区,系位于该第一端;一汲极区,系位于该第二端;以及一通道区,系延伸于该源极区和该汲极区之间;一第二半导体鳍片,实质上以平行于该第一半导体鳍片的方向作延伸,而且与第一半导体鳍片相隔(apart),其中该第二半导体鳍片具有同型杂质;以及一浮动闸,形成于该第一半导体鳍片和该第二半导体鳍片的上方,且与该第一半导体鳍片和该第二半导体鳍片电性绝缘,该浮动闸沿着一第二方向延伸而且完全覆盖该通道区;其中,该通道区的电传导型(conductivity type)系相反于该源极区以及该汲极区;其中,该第一方向实质上垂直于该第二方向;以及其中,该第二半导体鳍片系作为一控制闸。
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