用于研磨的电脑程式产品及方法

主权项

一种用于研磨之电脑程式产品，该电脑程式产品经有形地实施在一非暂态电脑可读取媒体上，该电脑程式产品包含用以执行以下操作之指令：接收在研磨期间对一所选定之光谱特征及待监控的该所选定之光谱特征的一特性进行之一识别；当正研磨一基板时，量测自该基板的一第一部分反射之光的一第一系列光谱，由于在该研磨期间正移除材料从而使得该第一系列光谱的至少一些光谱有所差异；当正研磨该基板时，量测自该基板的一第二部分反射之光的一第二系列光谱；对该第一系列光谱中该等光谱之每一者决定该所选定之光谱特征的一特性的一值以产生针对该特性之一第一系列值；对该第二系列光谱中该等光谱之每一者决定该所选定之光谱特征的该特性的一值以产生针对该特性之一第二系列值；使一第一函数与该第一系列值拟合；使一第二函数与该第二系列值拟合；及基于该第一函数及该第二函数来决定对一研磨速率之一调整，其中该等用以决定对该研磨速率之该调整的指令包括用以执行以下操作的指令：使用该第一函数之一斜率来计算该基板之该第一部分的一第一估计研磨终点时间；使用该第二函数之一斜率来计算该基板之该第二
部分的一第二估计研磨终点时间；及调整该第一部分或该第二部分之一研磨速率以使得该第一部分与该第二部分更接近于相同时间完成研磨。