| 主权项 |
一种用于一带电粒子多射束微影系统中之调节装置，该装置包含一本体，其本体包含一互连结构，该互连结构包含藉由介层通道层次而彼此耦接的多个金属化层次，该互连结构进一步具备复数个调节器及在该互连结构内之不同层次处的互连，该等互连系用于实现该等调节器至一或多个图案资料接收元件之连接；其中一调节器包含一第一电极、一第二电极，及一延伸通过该本体之孔径，该等电极位于该孔径之相对侧上以用于横越该孔径产生一电场；且其中该第一电极及该第二电极中之至少一者包含一形成于该互连结构之一第一金属化层次处的第一导电元件、一形成于该互连结构之一第二金属化层次处的第二导电元件以及一形成于该多个金属化层次之一第三金属化层次处的第三导电元件，该第一导电元件、该第二导电元件与该第三导电元件彼此电连接，以使得该第一电极及该第二电极中之至少一者遍及于超过该互连结构之多个层次之二个金属化层次延伸，其中该第一导电元件、该第二导电元件与该第三导电元件曝露至该孔径以便形成该电极之部分。
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