主权项 |
一种用于操作与处理生物本质样本(bio-entity)的整合半导体装置,该装置包括:一微流体通道,该微流体通道耦接至流体控制电路,其中该微流体通道的一第一面被形成于该第一基板上,且该微流体通道的一第二面被形成于一第二基板上,该第二基板耦接至该第一基板以提供该微流体通道包含一生物本质样本的一小滴,又该微流体通道的该第一面包括:一高介电常数(high-k)介电层;以及一疏水涂层覆盖该高介电常数介电层;一光感测器阵列耦接至光感测器控制电路;以及一逻辑电路耦接至该流体控制电路与该光感测器控制电路,且其中该流体控制电路、该光感测器控制电路与该逻辑电路被形成于一第一基板的一正面上。
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