降温装置及其操作方法

主权项

一种降温装置，设置于一装卸腔中且用以对放置于该装卸腔中的至少一玻璃基板降温，该降温装置包括：至少一气流引导组，设置于该至少一玻璃基板的一侧，各该气流引导组包括至少一气流入口及多个气流出口，该些气流出口朝向各该玻璃基板，其中：该至少一气流入口至各该气流出口的气流路径的长度实质上相同。