| 发明名称 |
硒化氢混合气体之供应方法及供应装置 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI498152 |
申请公布日期 |
2015.09.01 |
| 申请号 |
TW099127883 |
申请日期 |
2010.08.20 |
| 申请人 |
大阳日酸股份有限公司 |
发明人 |
伊藤吉则;高桥康弘 |
| 分类号 |
B01F3/02;B01F15/04;H01L31/04 |
主分类号 |
B01F3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
一种硒化氢混合气体之供应方法，其系具有：供应将自基底气体供应流路所供应之惰性气体、与自原料气体供应流路所供应之100%硒化氢气体藉由混合而调整至预定浓度之硒化氢混合气体之供应步骤，前述供应步骤中，藉由设置于前述原料气体供应流路之流量控制手段，将前述100%硒化氢气体之流量控制在预定流量，藉由设置于前述流量控制手段之下游侧的压力控制手段，将前述流量控制手段与该压力控制手段之间的前述100%硒化氢气体之压力控制在预定压力。
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| 地址 |
日本 |
