发明名称 Optical method and system for critical dimensions and thickness characterization
摘要
申请公布号 IL239632(D0) 申请公布日期 2015.08.31
申请号 IL20150239632 申请日期 2015.06.25
申请人 NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. 发明人
分类号 G01B 主分类号 G01B
代理机构 代理人
主权项
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