发明名称 |
Bündelverteilungsoptik, Beleuchtungsoptik mit einer derartigen Bündelverteilungsoptik, optisches System mit einer derartigen Beleuchtungsoptik sowie Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen optischen System |
摘要 |
Eine Bündelverteilungsoptik (8) dient zum Aufteilen eines einfallenden Bündels von Beleuchtungslicht (7) in mindestens zwei ausfallende Beleuchtungslicht-Bündel (71, 78). Die Bündelverteilungsoptik (8) hat mindestens ein Blaze-Reflexionsgitter (9) mit reflektierenden Gitterstrukturen. Es resultiert eine Optik, bei der eine effiziente Erzeugung mehrerer Beleuchtungslicht-Bündel aus einem einfallenden Bündel von Beleuchtungslicht erfolgt. |
申请公布号 |
DE102014203348(A1) |
申请公布日期 |
2015.08.27 |
申请号 |
DE201410203348 |
申请日期 |
2014.02.25 |
申请人 |
CARL ZEISS SMT GMBH |
发明人 |
DEGÜNTHER, MARKUS;PATRA, MICHAEL;KORB, THOMAS |
分类号 |
G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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