发明名称 Bündelverteilungsoptik, Beleuchtungsoptik mit einer derartigen Bündelverteilungsoptik, optisches System mit einer derartigen Beleuchtungsoptik sowie Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen optischen System
摘要 Eine Bündelverteilungsoptik (8) dient zum Aufteilen eines einfallenden Bündels von Beleuchtungslicht (7) in mindestens zwei ausfallende Beleuchtungslicht-Bündel (71, 78). Die Bündelverteilungsoptik (8) hat mindestens ein Blaze-Reflexionsgitter (9) mit reflektierenden Gitterstrukturen. Es resultiert eine Optik, bei der eine effiziente Erzeugung mehrerer Beleuchtungslicht-Bündel aus einem einfallenden Bündel von Beleuchtungslicht erfolgt.
申请公布号 DE102014203348(A1) 申请公布日期 2015.08.27
申请号 DE201410203348 申请日期 2014.02.25
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 DEGÜNTHER, MARKUS;PATRA, MICHAEL;KORB, THOMAS
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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