Teilchenstrahlbestrahlungsvorrichtung und Steuerverfahren für eine Teilchenstrahlbestrahlungsvorrichtung

摘要

Teilchenstrahlbestrahlungsvorrichtung (1) mit: einem Strahlerzeugungsabschnitt (10), der einen Teilchenstrahl erzeugt; einem Strahlemissionssteuerabschnitt (20), der eine Emission des Teilchenstrahls steuert; einem Strahlabtastabschnitt (30), der eine zweidimensionale Abtastung mit dem Elektronenstrahl durchführt; einem Sensorabschnitt (51), der eine Mehrzahl von ersten linearen Elektroden (51a), die in einer ersten Richtung parallel angeordnet sind, und eine Mehrzahl von zweiten linearen Elektroden (51b), die in einer zweiten Richtung, die orthogonal zu der ersten Richtung ist, parallel angeordnet sind, aufweist; einem Strahlformberechnungsabschnitt (90), der einen Schwerpunkt des Teilchenstrahls aus einem ersten Signal, das von jeder der ersten linearen Elektroden ausgegeben wird, und einem zweiten Signal, das von jeder der zweiten linearen Elektroden ausgegeben wird, berechnet und aus den ersten und zweiten Signalen eine zweidimensionale Strahlform des Teilchenstrahls um den Schwerpunkt erhält; einem Speicherabschnitt (97), der die zweidimensionalen Strahlformen, die dem Schwerpunkt entsprechen, für alle Abtastpositionen in einem Bereich der zweidimensionalen Abtastung sammelt und speichert; und einem Anzeigeabschnitt (98), der die zweidimensionalen Strahlformen des Teilchenstrahls für alle Abtastpositionen des Bereichs der zweidimensionalen Abtastung, die in dem Speicherabschnitt gespeichert sind, als Dosisprofile, die eine zweidimensionale Verteilung einer Teilchenstrahldosis über dem gesamten Bereich der zweidimensionalen Abtastung darstellen, anzeigt.