MANUFACTURING METHOD OF SYNTHETIC QUARTZ GLASS SUBSTRATE

摘要

【解決手段】精密研磨前に界面活性剤が添加されている水溶液に合成石英ガラス基板を浸漬させた後、コロイダルシリカ水分散液を用いて合成石英ガラス基板を精密研磨することを特徴とする合成石英ガラス基板の製造方法。【効果】本発明によれば、一般的なコロイダルシリカ砥粒を使用した研磨スラリーを用いた場合よりも研磨レートを向上させつつ、基板表面の欠陥数が少なく、更に面粗さの小さい合成石英ガラス基板を製造することが可能となる。また、基板を製造するための時間が少なくなるため、製造工程のスリム化、コストダウンにもつながる。【選択図】なし