| 发明名称 |
DEVICE FOR FORMING REDUCTION CHAMBER SPACE, AND METHOD OF POSITIONING MULTILAYER BODY |
| 摘要 |
【課題】大面積基板を、少ない占有面積、少ない処理ガス量で処理する装置並びに方法を提供する。【解決手段】各々が少なくとも１つの処理対象面４４、５４を有する少なくとも２つの多層体４０、５０を位置決めする器具３０ａを備える、縮小チャンバ空間を形成する装置２０ａにおいて、該器具３０ａは多層体４０、５０が互いの反対側にあるように設計されており、処理対象面は４４、５４、多層体４０、５０が処理システム内で多層体配列２８ａとして処理されることが可能なように、互いと反対の方を向いている。【選択図】図１ |
| 申请公布号 |
JP2015156485(A) |
申请公布日期 |
2015.08.27 |
| 申请号 |
JP20150021094 |
申请日期 |
2015.02.05 |
| 申请人 |
SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE |
发明人 |
JOERG PALM;MARTIN FUERFANGER;JESSICA HARTWICH;STEFAN JOST |
| 分类号 |
H01L21/683;H01L21/365;H01L21/673;H01L31/048 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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