| 摘要 |
【課題】信頼性の高い、気体温度検出部を有する熱式流量計を得る。【解決手段】本発明の熱式流量計は、主通路を流れる被計測気体を取り込んで流すための副通路と、前記副通路を流れる被計測気体との間で熱伝達を行うことにより流量を計測するための流量計測回路と前記被計測気体の温度を検出する温度検出部とを有する回路パッケージと、前記流量を表す電気信号や前記被計測気体の温度を表す電気信号を出力する外部端子を備えると共に前記回路パッケージを支持するケースと、を備え、前記回路パッケージは、前記流量計測回路や前記温度検出部を樹脂で包含された構成からなり、前記温度検出部が回路パッケージ本体から突出した突出部を有し、前記突出部の根元がその先端部より太く、さらに前記突出部の根元部において、先端に向かって徐々に細くなる形状を有している。【選択図】 図１１ |
