发明名称 |
一种自动利用最佳图像进行对准的装置及方法 |
摘要 |
本发明公开一种自动利用最佳图像进行对准的装置,包括:光源,用于提供对准光束;至少一个对准镜头,用于将所述对准光束投射至标记;摄影装置,用于接收标记的光信号转化为待处理的电信号;图像处理单元,用以判断标记的成像质量并控制调整装置移动;该装置还包括一调整装置,所述调整装置用以调整所述对准镜头的工作距离。本发明同时公开一种自动利用最佳图像进行对准的方法。 |
申请公布号 |
CN102692826B |
申请公布日期 |
2015.08.26 |
申请号 |
CN201110068017.7 |
申请日期 |
2011.03.21 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
李中秋;徐兵;李志丹;陈飞彪 |
分类号 |
G03F9/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F9/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京连和连知识产权代理有限公司 11278 |
代理人 |
王光辉 |
主权项 |
一种自动利用最佳图像的对准方法,包括:步骤一、光源提供对准光束经过对准镜头照射标记,通过一图像处理单元采集标记图像并获得第一次图像质量IQ1;步骤二、利用一调整单元改变对准镜头工作距离后获得第二图像质量IQ2;步骤三、判断所述第一、第二图像质量的优劣,并根据判断结果以相同或相反的方向调整对准镜头工作距离;步骤四、重复步骤一至三直至获得最佳图像质量IQ(n‑1);步骤五、利用所述最佳图像质量IQ(n‑1)进行对准;其中,所述最佳图像质量满足IQ(n‑2)<IQ(n‑1)且IQ(n‑1)>IQn,其中n是大于等于4的自然数。 |
地址 |
201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号 |