一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置

摘要

本发明公开了一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置，该方法的特征在于，在前驱体的吸附过程中引入了流化气，利用流化气吹散粉体，实现粉体的充分分散。该装置包括反应腔体，供应系统，真空系统，加热系统，监测系统和控制系统，其特征在于，供应系统包括流化气源，流化气通过流化气输送支路进入反应腔体，用于将粉体吹散到整个反应区域。本发明的方法与装置能有效提高粉体包覆率与沉积均匀性，并使得在每次沉积过程中对大量粉体进行包覆成为可能，提高了粉体包覆的效率。

主权项

一种包覆超细粉体的原子层沉积方法，其特征在于，在前驱体的吸附过程中引入了流化气，利用流化气吹散粉体，实现粉体的充分分散；对于容易吸附的前驱体，采用不保压吸附，对于较难吸附的前驱体，采用保压吸附；所述不保压吸附的方法如下：向反应腔体持续通入流化气，将粉体吹散到整个反应区域，循环通入多个前驱体脉冲，并持续对反应腔体抽气；所述保压吸附的方法如下：向反应腔体依次交替通入流化气脉冲和前驱体脉冲多次，不对反应腔体抽气或减小抽气流量，进行保压。