一种用于曝光装置的掩模台

摘要

一种用于曝光装置的掩模台，包括：机械预对准台，其包括承版台、X向预对准机构和Y向预对准机构，所述承版台用于固定至少两种不同尺寸的掩模版，所述X向预对准机构用于实现不同尺寸掩模版的X向预对准，所述Y向预对准机构用于实现不同尺寸掩模版的Y向预对准；驱动机构，其包括Y向粗动电机、X向微动电机，所述Y向粗动电机驱动机械预对准台沿Y向进行扫描移动，以进行大行程扫描，所述X向微动电机驱动机械预对准台沿X向移动，以实现X/Rz向的微调。本发明的驱动机构采用单层驱动结构，降低小物距曝光装置中掩模台的结构设计复杂度，机械预对准台实现了大小掩模版的兼容功能，且所述驱动机构取消了传统的机械导向结构，有效简化了掩模台结构。

主权项

一种用于曝光装置的掩模台，其特征在于，包括：机械预对准台，包括承版台、X向预对准机构和Y向预对准机构；所述承版台用于承载尺寸不同的至少两种掩模版；所述X向预对准机构包括设置在承版台X向相对两侧边缘的至少一对X向定位组件，所述每对X向定位组件中有一个是能够沿X向移动的，其余固定在所述承版台上，并且通过所述各对X向定位组件卡紧掩模版的X向相对两侧边，使掩模版的X向中心与承版台的X向中心对准，实现掩模版的X向预对准；所述Y向预对准机构包括设置在承版台Y向相对两侧边缘的至少两对Y向定位组件，每一对Y向定位组件对应一种尺寸的掩模版，所述每对Y向定位组件中有一个是能够沿Y向移动的，其余固定在所述承版台上，并且通过所述一对Y向定位组件卡紧掩模版的Y向相对两侧边，使掩模版的Y向中心与承版台的Y向中心对准，实现掩模版的Y向预对准；驱动机构，包括设置于同一平面内的Y向粗动电机、X向微动电机，所述Y向粗动电机驱动所述机械预对准台沿Y向进行扫描移动，所述X向微动电机驱动机械预对准台沿X向移动，以实现X/Rz向的微调；其中，X、Y向分别是水平面内相互垂直的两个方向，Rz向表示在XY平面内的旋转方向；所述Y向预对准机构对应于Y向尺寸最大的掩模版设有一对第一Y向定位组件，所述Y向预对准机构对应于其余尺寸的掩模版分别设有一对第二Y向定位组件；所述一对第一Y向定位组件包括分别设置在承版台Y向相对两侧边缘的Y向固定式定位销和Y向定位杆，所述Y向固定式定位销的设置位置使得当所述Y向尺寸最大的掩模版Y向的一侧边抵顶在Y向固定式定位销上时，所述Y向尺寸最大的掩模版的Y向中心与承版台的Y向中心对准；所述Y向定位杆在一Y向驱动装置的驱动下能够沿Y向移动，用于当Y向尺寸最大的掩模版Y向的一侧边抵顶在Y向固定式定位销上时卡紧所述Y向尺寸最大的掩模版Y向的另一侧边；所述一对第二Y向定位组件包括分别设置在承版台Y向相对两侧边缘的Y向移动式定位销和Y向定位杆，当承版台承载有所述其余尺寸的掩模版时，所述Y向移动式定位销在一第二X向驱动装置的驱动下沿X向移动到一设置位置，所述设置位置使得当所述其余尺寸的掩模版Y向的一侧边抵顶在Y向移动式定位销上时，所述其余尺寸的掩模版的Y向中心与承版台的Y向中心对准；所述Y向定位杆在一Y向驱动装置的驱动下能够沿Y向移动，用于当所述其余尺寸的掩模版Y向的一侧边抵顶在Y向移动式定位销上时卡紧所述其余尺寸的掩模版Y向的另一侧边。