非金属图案的制作方法

摘要

一种非金属图案的制作方法，其包括如下步骤：在基板上形成非金属刻蚀层；在所述非金属刻蚀层上形成非晶金属氧化物；对所述非晶金属氧化物的预定区域进行激光退火处理，使所述预定区域的非晶金属氧化物形成多晶金属氧化物；对预定区域外的非晶金属氧化物进行第一次刻蚀处理，对所述预定区域外的非金属刻蚀层进行第二次刻蚀处理；去除所述预定区域的多晶金属氧化物，形成非金属图案。与现有技术相比，上述非金属图案的制作方法减少了涂胶、曝光、显影、脱膜等一系列步骤，缩短了生产周期，降低了生产成本，而且实现了在不使用曝光掩膜板的条件下的产品生产，减少了物料的耗损及设备的投入，避免了有机试剂的使用，并减少了对环境的污染。

主权项

一种非金属图案的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：在基板上形成非金属刻蚀层；在所述非金属刻蚀层上形成非晶金属氧化物；对所述非晶金属氧化物的预定区域进行激光退火处理，使所述预定区域的非晶金属氧化物形成多晶金属氧化物；对预定区域外的非晶金属氧化物进行第一次刻蚀处理，以除去所述预定区域外的所述非晶金属氧化物；对所述预定区域外的非金属刻蚀层进行第二次刻蚀处理，以除去所述预定区域外的非金属刻蚀层；去除所述预定区域的多晶金属氧化物，形成非金属图案。