| 摘要 |
<p>Messgerät zur Messung einer bestimmten Gaskomponente,–mit einer breitbandigen Lichtquelle, die ausgebildet ist, Licht moduliert abzugeben,–mit einem Messvolumen, in der das zu messende Gas vorliegt,–mit einer ersten Lichtablenkeinheit, die wenigstens einen MEMS-Spiegel umfasst und das Licht abwechselnd auf zwei optische Pfade umlenkt,–und der eine erste Pfad als Messpfad ausgebildet ist und ein erstes Filterelement enthält,–und der andere zweite Pfad als Referenzpfad ausgebildet ist und ein zweites Filterelement enthält,–mit einem optischen Element, das Mess- und Referenzpfad wieder auf einen gemeinsamen optischen Pfad führt,–mit einem Lichtdetektor und–mit einer Auswerte- und Steuereinheit zur Ansteuerung der Lichtquelle und der Lichtablenkeinheit und zur Auswertung detektierter Lichtintensitäten und damit Messung der Gaskomponente.</p> |
