光罩护膜框体、光罩护膜及光罩护膜框体的使用方法

主权项

一种光罩护膜框体，其系矩形之光罩护膜框体，该光罩护膜框体之变形性α为0.06%以下，由下述通式(1)所示之该光罩护膜框体各边之追随性β为3mm以上，该光罩护膜框体长边之追随性β为32mm以下，而且框体之长边之长度为1400mm以上且2100mm以下，而且，该光罩护膜框体之内侧之面积为15000cm2以上，该光罩护膜框体之短边之宽度为长边之宽度之1.05倍以上且1.50倍以下，β=(1/光罩护膜之弯曲量)×厚度×宽度 (1)。