| 主权项 |
一种在一反应室中自一工件表面移除材料之方法，该方法包括：将一包括分子氢、一弱氧化剂及一含氟气体之气体引入至一电浆源中；自该被引入至该电浆源中之气体产生一基于氢(hydrogen-based)之电浆；及在该电浆源下游及该工件上游，引入一惰性气体，其中该包括分子氢、该弱氧化剂及该含氟气体之气体与该惰性气体一起流动至该工件，并与来自该工件之该材料反应，其中被引入至该电浆源中之该气体包括体积在约0.1%至约10%之间之该弱氧化剂，且其中被引入至该电浆源中之该气体包括体积在约0.1%至约3%之间之该含氟气体。
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