发明名称 用于显示装置的阻绝物材料
摘要
申请公布号 TWI496932 申请公布日期 2015.08.21
申请号 TW102108313 申请日期 2013.03.08
申请人 气体产品及化学品股份公司 发明人 强生 安德鲁 大卫;马里卡裘南 艾纽帕马;孟提 雷蒙 尼克劳斯;雷新建;欧尼尔 马克 李纳德;萧满超
分类号 C23C16/34;C23C16/40;C23C16/455 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人 陈展俊 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2;林圣富 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2
主权项 一种显示装置,其包含:一基材,其包含金属氧化物层;及一氮化矽层,其系沉积于该金属氧化物层的至少一部分上,其中该氮化矽层包含2.4g/cm3或更高的密度及4x1022原子/cm3或更低的氢含量。
地址 美国