发明名称 |
用于显示装置的阻绝物材料 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI496932 |
申请公布日期 |
2015.08.21 |
申请号 |
TW102108313 |
申请日期 |
2013.03.08 |
申请人 |
气体产品及化学品股份公司 |
发明人 |
强生 安德鲁 大卫;马里卡裘南 艾纽帕马;孟提 雷蒙 尼克劳斯;雷新建;欧尼尔 马克 李纳德;萧满超 |
分类号 |
C23C16/34;C23C16/40;C23C16/455 |
主分类号 |
C23C16/34 |
代理机构 |
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代理人 |
陈展俊 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2;林圣富 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2 |
主权项 |
一种显示装置,其包含:一基材,其包含金属氧化物层;及一氮化矽层,其系沉积于该金属氧化物层的至少一部分上,其中该氮化矽层包含2.4g/cm3或更高的密度及4x1022原子/cm3或更低的氢含量。 |
地址 |
美国 |