| 主权项 |
一种图案形成方法，其含有将树脂组成物涂布于基板上以形成光阻膜、曝光该光阻膜及将曝光后的光阻膜以含有机溶剂之负型显影剂来显影；该树脂组成物含有树脂，并能够形成光阻膜；该树脂系含有选自由下式1、2、12~15、20及23中之任一所表示之重覆单元所构成之群组中之至少一种，且藉由酸的作用增加对于硷性显影剂即正型显影剂的溶解度并减少对于含有机溶剂之负型显影剂之溶解度之树脂；其中该树脂组成物系藉由照射光化射线或辐射，增加对于该正型显影剂的溶解度并减少对于该负型显影剂之溶解度；其中，Rx代表氢原子、甲基或羟基甲基；及Rxa与Rxb各自独立地代表碳数1至4的烷基，其中该负型显影剂含有醋酸丁酯作为有机溶剂。 |
