温度测定方法及记忆媒体

主权项

一种温度测定方法，其特征系包含：光传送步骤，把来自光源的光，传送至基板上形成有薄膜之测定对象物的测定点；干涉波测定步骤，对于该基板之表面上之反射光所产生的第1干涉波、以及该基板与该薄膜之介面及该薄膜之背面上之反射光所产生的第2干涉波进行测定；光路长度计算步骤，计算出从该第1干涉波到该第2干涉波的光路长度；膜厚计算步骤，依据该第2干涉波的强度，计算出该薄膜的膜厚；光路差计算步骤，依据该计算出之该薄膜的膜厚，计算出该基板之光路长度与该计算出之光路长度二者的光路差；光路长度修正步骤，依据该计算出之光路差，对于该计算出之从该第1干涉波到该第2干涉波的光路长度进行修正；及温度计算步骤，从该修正后的光路长度，计算出该测定对象物在该测定点上的温度。