主权项 |
一种产生一物体之一影像的光学装置,该物体包含一非透明材料,该装置包含:a.一照明光源,用于产生一照明光,该照明光具有一受控之角频谱(angular spectrum);b.一远场校正物镜(infinity corrected objective),用于引导该照明光至该物体上并聚集来自该物体之光;c.一照明光学路径,用于将该照明光自该照明光源传递至该远场校正物镜;d.一中继光学器件,设置于该照明光学路径内,用于将进入该远场校正物镜之该照明光之光线导引至一预定倾角;e.一影像感测器,用于产生该物体之该影像;以及f.一成像光学路径,用于将该所聚集之光自该远场校正物镜传递至该该影像感测器,其中该照明光源、该远场校正物镜及该中继光学器件被排列成至少部分地防止杂散光线、由该非透明材料之表面或介面所散射之光线、以及受该非透明材料之不均匀性干扰之光线进入该成像光学路径。
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