制程监控方法及表面分析系统

主权项

一种制程监控方法，包含：一准备步骤，准备一个具有多个对位记号的基材，接着将该基材经过一制程处理；一量测计算步骤，取得该些对位记号于经过该预定制程处理后的叠对误差残余值；及一第一转换比对步骤，取任两个对位记号的叠对误差残余值，计算该两个对位记号之间的叠对误差残余值差值，将该叠对误差残余值差值与一组预设资料进行比对运算，得到一第一比对值。