| 主权项 |
一种基板处理装置，包括：一制程腔室，其具有一内部空间；一基板支撑部分，其安置于该制程腔室之内，且支撑一基板；一气体供应部分，其将一制程气体供应至该制程腔室中；复数个天线，其经组态以将高频功率供应至该制程腔室中，以激发该制程腔室内之该制程气体；及复数个驱动部分，其改变该等天线之一尺寸，其中，该等天线包括：复数个天线框架，其彼此间隔，且该等天线框架经布置以形成一环形；及复数个连接部件，其将该等天线框架中之相邻天线框架彼此连接，且该等连接部件根据该等天线框架之移动而伸展或收缩，其中，该等复数个驱动部分系分别连接至该等天线框架，以沿该环形之一径向分别移动该等天线框架。
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