Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Bauelements

摘要

Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Bauelements (100), aufweisend die Schritte: – Ausbilden einer Zugangsöffnung (7) in einem MEMS-Element (5) oder in einem Kappenelement (6) des Bauelements (100); – Verbinden des MEMS-Elements (5) mit dem Kappenelement (6), wobei zwischen dem MEMS-Element (5) und dem Kappenelement (6) wenigstens eine Kaverne (8a, 8b) ausgebildet wird; und – Verschließen der Zugangsöffnung (7) zur wenigstens einen Kaverne (8a, 8b) unter einer definierten Atmosphäre mittels eines Lasers (9).