透明導電性積層体、透明導電性積層体の製造方法、および透明導電性積層体を用いてなる電子デバイス

摘要

【課題】優れた湿熱特性を有する透明導電性積層体、透明導電性積層体の製造方法およびそのような透明導電性積層体を用いてなる電子デバイスを提供する。【解決手段】基材の少なくとも片面に透明導電層を形成してなる透明導電性積層体等であって、透明導電層が、酸化亜鉛を含むとともに、ガリウムおよびインジウムをドープしてなる酸化亜鉛膜であり、透明導電層は、ＸＰＳの元素分析測定による亜鉛量、ガリウム量、酸素量、およびインジウム量の合計量（１００ａｔｏｍ％）に対して、インジウム量を、８ａｔｏｍ％を超えて、２５ａｔｏｍ％以下の値とし、かつ、当該酸化亜鉛膜の初期の比抵抗（ρ0）を５?１０-4Ω・ｃｍを超えて、１?１０-1Ω・ｃｍ以下の値とする。【選択図】図１