| 摘要 |
<p>【課題】本発明の課題は、フィルムの搬送に起因する膜欠陥が少ない機能性フィルムの製造装置及び製造方法を提供することである。【解決手段】本発明の機能性フィルムの製造装置は、無機膜に接触してベースフィルムを搬送する接触型のローラーと、無機膜に非接触で前記ベースフィルムを搬送する非接触型のローラーと、を備え、無機膜の成膜空間を、当該成膜空間における接触型のローラーと非接触型のローラーの総数が半分となるように、ベースフィルムの搬送方向において前半と後半に分けたとき、後半の成膜空間における接触型のローラーと非接触型のローラーの総数に対する当該非接触型のローラーの数の比率が、前半の成膜空間における接触型のローラーと非接触型のローラーの総数に対する当該非接触型のローラーの数の比率よりも大きくなるように、接触型のローラーと非接触型のローラーが配置されていることを特徴とする。【選択図】図１</p> |
