| 摘要 |
Ein System (100) zum Bereitstellen eines temperierten Gases weist auf: Einen Gas-Einlassanschluss (120), einen Wärmetauscher (110) mit einem ersten Durchströmbereich (112) und einem davon getrennten zweiten Durchströmbereich (114), eine Gas-Zuleitung (122), welche den Gas-Einlassanschluss (120) mit dem ersten Durchströmbereich (112) verbindet, ein Gas-Ventil (124), welches der Gas-Zuleitung (122) zugeordnet ist, zum Steuern eines Gas-Massenstroms, und einen Gas-Auslassanschluss (128). Das System (100) weist ferner auf: Einen Fluid-Einlassanschluss (140), eine Fluid-Zuleitung (142), welche den Fluid-Einlassanschluss (140) mit dem zweiten Durchströmbereich (114) verbindet, ein Fluid-Ventil (144), welches der Fluid-Zuleitung (142) zugeordnet ist, zum Steuern eines Fluid-Massenstroms, und einen Fluid-Auslassanschluss (148), welcher mit dem zweiten Durchströmbereich (114) verbunden ist. Das System (100) weist ferner auf: Zumindest drei Sensoren (132, 152), welche jeweils der Gas-Zuleitung (122) oder der Fluid-Zuleitung (142) zugeordnet sind, zum Erfassen jeweils einer Zustandsgröße des durch die Gas-Zuleitung (122) strömenden Gases bzw. des durch die Fluid-Zuleitung (142) strömenden Fluids, wobei jeder Zuleitung (122, 142) zumindest ein Sensor (132, 152) zugeordnet ist, und eine Steuereinrichtung (170), welche eingangsseitig mit den zumindest drei Sensoren (132, 152) und ausgangsseitig mit den beiden Ventilen (124, 144) gekoppelt ist, wobei die Steuereinrichtung (170) konfiguriert ist, die beiden Ventile (124, 144) basierend auf den von den Sensoren (132, 152) erfassten Zustandsgrößen so anzusteuern, dass das temperierte Gas eine vorbestimmte Temperatur annimmt. |
