| 摘要 |
<p>In einer Verarbeitung des Eintauchens von Substraten in eine chemische Lösung und Bewegen der chemischen Lösung durch Blasen oder Flüssigkeit werden Gasblasen oder die Flüssigkeit so zugeführt, dass abwechselnd das Auftreten eines ersten Zustandes und eines zweiten Zustandes hervorgerufen wird. Der erste Zustand ist ein Zustand, in dem eine Menge von Gasblasen oder der Flüssigkeit, die an eine Seite in einer Richtung jedes Substrates zugeführt wird, größer ist als eine Menge von Gasblasen oder Flüssigkeit, die an eine andere Seite in der einen Richtung des Substrates zugeführt wird. Der zweite Zustand ist ein Zustand, in dem die Menge von Gasblasen oder der Flüssigkeit, die der einen Seite in der einen Richtung des Substrates zugeführt wird, kleiner ist als die Menge von Gasblasen oder der Flüssigkeit, die der anderen Seite in der einen Richtung des Substrates zugeführt wird.</p> |
