ＬＥＤ表面の粗面仕上げにおける特徴サイズ及び形状制御を用いる光抽出の改良

摘要

発光素子（２００）の出光表面（２２５）が粗面化されるときに、その表面の光抽出効率を増大させるために、発光素子の出光表面の構造的な特徴が制御される。粗面化プロセスに対して異なる耐久性を備える材料の層を含む発光表面（２２５）は、同じ粗面化プロセスに晒される実質的に均一な発光表面よりも高い光抽出効率を示す。ＧａＮ型発光素子（２００）では、出光表面（２２５）上の又は付近のＡｌＧａＮ材料の薄層が、ＧａＮ材料のみを含む表面の従来的なエッチングによって創成される特徴に比べて、エッチング後により鋭利な特徴を創成する。