发明名称 PRODUCTION OF FREE-STANDING SOLID STATE LAYERS BY THERMAL PROCESSING OF SUBSTRATES WITH A POLYMER
摘要 <p>자립(free-standing) 고체상태 층을 제조하기 위한 방법에서, 층 형성을 위해 가용한 적어도 하나의 표면을 갖는 고체상태 물질이 제공되고, 가용한 표면 상에 폴리머층이 형성된다. 이어서 대략 실온인 제 1 온도로부터 제 2 온도까지 국부적 온도 변화에 고체상태 물질 및 폴리머층이 노출되어 물질 내 깊이에서 면을 따라 고체상태 물질이 균열되게 하여, 고체상태 물질로부터 적어도 한 자립 고체상태 층을 제조한다.</p>
申请公布号 KR101546112(B1) 申请公布日期 2015.08.20
申请号 KR20107012250 申请日期 2008.10.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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