| 摘要 |
<p>【課題】プラズマ処理装置によるプラズマ処理の適否を明確、かつ適切に判断することを課題とする。【解決手段】プラズマの照射により透過率が低下するインジケータを用いて、プラズマ照射ヘッド１４によるプラズマ処理の適否を判断するためのシステムにおいて、プラズマ照射ヘッドによりプラズマ処理されたインジケータの透過率が、透過率検出器１６によって測定される。そして、判断部８８は、透過率が第１閾値以下であるか否かを判定する。この際、透過率が第１閾値以下である場合に、プラズマ照射ヘッドによるプラズマ処理が適切に行われていると判断され、透過率が第１閾値を超えている場合に、プラズマ照射ヘッドによるプラズマ処理が適切に行われていないと判断される。これにより、プラズマ照射ヘッドによるプラズマ処理の適否を明確、かつ適切に判断することが可能となる。【選択図】図４</p> |
