Wippeneinrichtung für einen mikromechanischen Z-Sensor

摘要

Wippeneinrichtung (100) für einen mikromechanischen Z-Sensor (200), aufweisend: – zwei um eine Torsionsachse (10) lagerbare wannenartig ausgebildete Wippenarme (20, 21), wobei die Wippeneinrichtung (100) bezogen auf die Torsionsachse (10) asymmetrisch ausgebildet ist; – pro Wippenarm (20, 21) einen Anschlagsbereich mit wenigstens einem ersten Anschlagselement (30), wobei an jedem Wippenarm (20, 21) der Anschlagsbereich relativ zu einem Sensierbereich (SB) der Wippeneinrichtung (100) definiert erhöht ausgebildet ist.