发明名称 一种探针卡维护方法
摘要 本发明探针卡维护方法,包括以下步骤:设定探针卡的报废扎针次数限值和维护扎针次数限值;获取探针卡的实际扎针次数;将实际扎针次数与原始累计扎针次数相加得到当前累计扎针次数;若当前累计扎针次数大于或等于报废扎针次数限值,则更换探针卡,且同时将原始扎针次数的数值和原始累计扎针次数的数值设置为零;反之,则将原始累计扎针次数的数值更新为当前累计扎针次数的数值,并继续将实际扎针次数与原始扎针次数进行相加得到当前扎针次数;若当前扎针次数大于或等于维护扎针次数限值,则对探针卡进行维护,并将原始扎针次数的数值设置为零;反之,则将原始扎针次数的数值更新为当前扎针次数的数值。本发明解决了探针卡维护中的浪费问题。
申请公布号 CN103217558B 申请公布日期 2015.08.19
申请号 CN201310081818.6 申请日期 2013.03.14
申请人 上海华力微电子有限公司 发明人 沈茜;周波
分类号 G01R1/06(2006.01)I 主分类号 G01R1/06(2006.01)I
代理机构 上海申新律师事务所 31272 代理人 竺路玲
主权项 一种探针卡维护方法,应用于探针卡检测系统中,其特征在于,所述探针卡检测系统包括第一数据库和第二数据库,所述第一数据库中存储有原始扎针次数,所述第二数据库中存储有原始累计扎针次数,所述探针卡维护方法包括以下步骤:根据工艺需求,设定探针卡的报废扎针次数限值和维护扎针次数限值,并设定该探针卡的使用时间段为T<sub>n</sub>=t<sub>n</sub>‑t<sub>n‑1</sub>,其中,n为对该探针卡进行数据采集的次数,n为正整数,t<sub>n</sub>表示所述探针卡从使用以来至第n次数据采集时的使用时间,T<sub>n</sub>表示所述探针卡从第n‑1次数据采集时至第n次数据采集时的使用时间段;对所述探针卡进行数据采集,以获取所述探针卡在使用时间段T<sub>n</sub>=t<sub>n</sub>‑t<sub>n‑1</sub>内所述探针卡的实际扎针次数;将所述实际扎针次数与所述原始累计扎针次数相加得到当前累计扎针次数,并将该当前累计扎针次数的数值与所述报废扎针次数限值进行比对;若所述当前累计扎针次数的数值大于或等于所述报废扎针次数限值,则所述探针卡报废,更换新探针卡,同时将所述原始扎针次数的数值和所述原始累计扎针次数的数值设置为零,并对所述新探针卡进行第一次的数据采集;若所述当前累计扎针次数的数值小于所述报废扎针次数限值,则将所述原始累计扎针次数的数值更新为所述当前累计扎针次数的数值,并继续将所述实际扎针次数与所述原始扎针次数进行相加得到当前扎针次数,并将该当前扎针次数的数值与所述维护扎针次数限值进行比对;若所述当前扎针次数的数值大于或等于所述维护扎针次数限值,则对所述探针卡进行维护,将所述原始扎针次数的数值设置为零,并继续对所述探针卡进行下一次的数据采集;若所述当前扎针次数的数值小于所述维护扎针次数限值,则将所述原始扎针次数的数值更新为所述当前扎针次数的数值,并继续对所述探针卡进行下一次的数据采集。
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