发明名称 一种具有多层复合结构的YBCO超导膜及其制备方法
摘要 本发明提供了一种具有多层复合结构的YBCO超导膜及其制备方法,该方法包括首先把乙酸钇、乙酸钡和乙酸铜按照比例混合溶于三氟乙酸的水溶液中;搅拌均匀后真空蒸干溶剂得到凝胶;再加入甲醇搅拌均匀后蒸干溶剂得到凝胶;随后加入甲醇,制成前驱液;然后将前驱液涂覆在基片上;涂覆好的薄膜先经过低温热处理过程,分解三氟乙酸盐;然后进行高温热处理获得具有四方相的YBCO薄膜;将乙酰丙酮钛的前驱液涂覆在YBCO薄膜上,进行高温热处理;再依次重复涂覆Y、Ba和Cu的前驱液和乙酰丙酮钛的前驱液并进行相应的热处理,制备出结构为YBCO/BaTiO<sub>3</sub>/YBCO/BaTiO<sub>3</sub>/YBCO/BaTiO<sub>3</sub>/YBCO七层厚度的YBCO超导膜。该YBCO厚膜在零场下临界电流密度达到4.0MA/cm<sup>2</sup>,大大提高了YBCO厚膜的载流能力。
申请公布号 CN102931338B 申请公布日期 2015.08.19
申请号 CN201210426381.0 申请日期 2012.10.31
申请人 苏州新材料研究所有限公司 发明人 蔡渊;贺昱旻;周莉;艾青;程鹏;古宏伟;丁发柱
分类号 H01L39/12(2006.01)I;H01L39/24(2006.01)I 主分类号 H01L39/12(2006.01)I
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人 范晴
主权项 一种具有多层复合结构的YBCO超导膜的制备方法,包括如下步骤:(1)YBCO前驱溶液的配置:A.按照Y:Ba:Cu=1.5:2:3的摩尔比将Y(CH<sub>3</sub>COO)<sub>3</sub>、Ba(CH<sub>3</sub>COO)<sub>2</sub>和Cu(CH<sub>3</sub>COO)<sub>2</sub>三种粉末混合,溶于含三氟乙酸的去离子水中,配成溶液,其中溶质与溶剂的摩尔比为1:100;搅拌均匀再蒸除溶剂得到凝胶;B.将凝胶加入甲醇中,凝胶与甲醇的摩尔比为1:50,搅拌后,蒸除溶剂,去除杂质,得到纯净的凝胶;C.将制得的纯净凝胶加入到甲醇中,制成Y、Ba和Cu三种金属总离子浓度为1.5‑3.0mol/L的前驱液;(2)薄膜涂覆I:将步骤(1)制成的前驱液采用旋涂或提拉方法涂覆在基片上;(3)低温预烧:将涂覆好的基片置于高温管式石英炉中,在300℃‑500℃温度下进行10h的低温热处理,分解三氟乙酸盐,升温速率为40℃/h;(4)高温烧结I:将经过步骤(3)处理的基片置于750℃‑850℃的高温下热处理2‑4h,生成四方相YBCO膜,升温速度为400℃/h;其特征在于,所述步骤(4)后,还包括如下步骤:步骤(5)薄膜涂覆II:将乙酰丙酮钛和乙酸钡室温下溶于甲醇中,配制得到金属钛离子和钡离子浓度均为0.1~0.5mol/L的前驱液,将该前驱液旋涂在经过烧结的YBCO薄膜上;步骤(6)高温烧结II:将步骤(5)处理的样品置于600℃‑650℃的高温下热处理1‑2h,生成BaTiO<sub>3</sub>膜,升温速度为400℃/h;步骤(7)在处理的样品上依次按照步骤(2)‑(4)和步骤(5)‑(6)交替沉积YBCO膜共4次和BaTiO<sub>3</sub>膜共3次,最后在氧气氛围中进行热处理,制备出结构为YBCO/BaTiO<sub>3</sub>/YBCO/BaTiO<sub>3</sub>/YBCO/BaTiO<sub>3</sub>/YBCO七层,厚度为1.5微米的YBCO超导厚膜。
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