用于电子级六氟化钨中微量杂质分析的在线分析仪

摘要

本实用新型为一种用于电子级六氟化钨中微量杂质分析的在线分析仪，包括样品进口气路、样品出口气路，切换阀，色谱柱，放空针阀和检测器，其特征在于：第一切换阀上设有第一定量管、第一色谱柱和第一放空针阀，第二切换阀上设有第二定量管，第三切换阀上设有第二放空针阀、第三放空针阀和检测器；第一切换阀和第三切换阀之间设有第二色谱柱，第二切换阀和第三切换阀之间设有第三色谱柱。本实用新型循环进样分析方式，提高了分析结果的稳定性、降低了设备的故障率，所采用的等离子体发射检测器的高灵敏度使得本实用新型的检测限能达到ppb级别。

主权项

一种用于电子级六氟化钨中微量杂质分析的在线分析仪，包括样品进口气路、样品出口气路，切换阀，色谱柱，放空针阀和检测器，其特征在于：第一切换阀（1）上设有第一定量管（5）、第一色谱柱（7）和第一放空针阀（16），第二切换阀（2）上设有第二定量管（6），第三切换阀（3）上设有第二放空针阀（17）、第三放空针阀（18）和检测器（4）；第一切换阀（1）和第三切换阀（3）之间设有第二色谱柱（8），第二切换阀（2）和第三切换阀（3）之间设有第三色谱柱（9）。