| 发明名称 | 用于微机械结构元件的层组件 | ||
| 摘要 | 用于微机械结构元件(200)的层组件(100)，其具有：第一层(10)，其既可用于所述结构元件(200)的电布线也可用作所述结构元件(200)的电极；和耐氧化物蚀刻的第二层(20)，其布置在第一层(10)的下方，其中，该第二层(20)基本上在一个平面内构造。 | ||
| 申请公布号 | CN104843631A | 申请公布日期 | 2015.08.19 |
| 申请号 | CN201510224045.1 | 申请日期 | 2015.02.15 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | A·格罗塞;H·施塔尔 |
| 分类号 | B81B7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 侯鸣慧 |
| 主权项 | 用于微机械结构元件(200)的层组件(100)，所述层组件具有：‑第一层(10)，所述第一层既能够用于所述结构元件(200)的电布线也能够用作所述结构元件(200)的电极；和‑耐氧化物蚀刻的第二层(20)，所述第二层布置在所述第一层(10)的下方，其中，所述第二层(20)基本上构造在一个平面中。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||