一种激光冲击微冲裁装置

摘要

本发明涉及微制造领域，具体地是指一种激光冲击微冲裁装置。其特征在于：在下模的上端面依次覆盖金属薄膜、吸收层、约束层和掩膜，掩膜正对下模，并通过夹具系统保证相对位置；所述掩膜的外形与下模的外形相似；掩膜的尺寸比下模的尺寸大4-15 μm；高能脉冲激光的一部分辐照在掩膜的表面被反射，另一部分透过约束层，形成特定形状的激光光斑辐照在吸收层表面，吸收层吸收激光能量在约束层的约束下产生等离子爆炸，形成冲击波，在该具有特定轮廓冲击波和下模的作用下，金属薄膜被掩膜掩盖的部分保留下来，外围部分被修剪掉，获得一个具有特定形状的平整的微零件。

主权项

一种激光冲击微冲裁装置，其特征在于：在下模的上端面依次覆盖金属薄膜、吸收层、约束层和掩膜，掩膜正对下模，并通过夹具系统保证相对位置；所述掩膜的外形与下模的外形相似；掩膜的尺寸比下模的尺寸大4‑15 μm；高能脉冲激光的一部分辐照在掩膜的表面被反射，另一部分透过约束层，形成特定形状的激光光斑辐照在吸收层表面，吸收层吸收激光能量在约束层的约束下产生等离子爆炸，形成冲击波，在该具有特定轮廓冲击波和下模的作用下，金属薄膜被掩膜掩盖的部分保留下来，外围部分被修剪掉，获得一个具有特定形状的平整的微零件。