一种双吸收层TiON耐候性光热涂层及其制备方法

摘要

本发明涉及一种双吸收层TiON耐候性光热涂层及其制备方法，以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材，依次为Ti膜红外反射层、TiON膜第一吸收亚层、TiON膜第二吸收亚层、Si_xN_y膜减反层，先通氩气以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材，以Ti为靶材直流溅射，再注入流量为5-9sccm的氮气和流量为1-4sccm的氧气溅射，然后调整氮气流量为9-15sccm、氧气流量3-5sccm溅射，最后使基材正对Si靶材调节氮气流量至15-25sccm、氧气流量至0sccm溅射。本发明所制备的太阳能选择性光热吸收涂层耐候性好，可用于制备平板太阳能集热板芯，应用前景良好。

主权项

一种双吸收层TiON耐候性光热涂层的制备方法，包括步骤如下：(1)先对基材进行表面清洗，然后在真空腔室内利用BP单极脉冲偏压电源对基材进行反溅射清洗，通过离子轰击活化；(2)注入流量35‑45sccm的氩气，压强保持在0.5‑1pa，调整公转电机使基体处于正对金属Ti靶的位置，溅射10min，转速15r/min，间距10cm，直流溅射功率为2.2‑2.5w/cm²；(3)采用金属Ti靶，通入35‑45sccm Ar气的同时，注入流量为5‑9sccm的氮气和流量为1‑4sccm的氧气，电源功率保持在2.2‑2.5w/cm²，先反应溅射10min；调整氮气流量为9‑15sccm、氧气流量3‑5sccm，电源功率保持在2.2‑2.5w/cm²保持直流电源和自转电机在开启状态，再反应溅射10min，转速和间距保持不变；(4)使基材处于正对导电Si靶的位置，通入35‑45sccm Ar气的同时，调节氮气流量至15‑25sccm、氧气流量至0sccm，开启Si靶直流电源和自转电机，调整溅射功率至1.7‑2.2w/cm²，溅射5min，转速和间距数值保持不变。